# FMTM-s4
万电子束光刻机

+ 1 万根电子束同时扫描, 速度是单电子束光刻机的 1 万倍


## 初步设计

+ 100 只 `区域电子枪`, 每个只负责晶圆上一个小区域的扫描.

+ 每只区域电子枪具有 100 根电子束.

### 区域电子枪

+ (1) 大电流热阴极 (钨丝)

+ (2) 多孔引出阳极, 100 个直径约 1um 的孔 (10x10),
  得到 100 根低压电子束

+ (3) MEMS 快门阵列: 微型机械式快门 (10x10 阵列),
  可独立控制每根电子束的打开/关闭(阻挡)

+ (4) 高压加速电极: 60kV 加速电压

  对所有电子束进行加速

+ (5) 聚焦电磁透镜: 对所有电子束进行聚焦

+ (6) 偏转电极: 对所有电子束进行偏转

+ 显存: 存储 mask 图案

+ 控制电路

+ 散热外壳


TODO
